眾所周知,當(dāng)芯片工藝制程進(jìn)入7nm及以下時(shí),需要用到EUV光刻機(jī)。

而全球目前僅一家企業(yè)能造出EUV光刻機(jī),那就是ASML,且ASML的年產(chǎn)量不高,2022年僅生產(chǎn)40來臺(tái)左右。

而目前像三星、intel、臺(tái)積電、美光等巨頭,都需要EUV光刻機(jī),所以其實(shí)ASML的光刻機(jī)是供不應(yīng)求的。

理論上來講,在這樣的情況下,應(yīng)該會(huì)有眾多的光刻機(jī)廠商,摩拳擦掌想要研發(fā)出EUV光刻機(jī)出來,但事實(shí)上,目前除了ASML外,沒有其它廠商真正在跟著ASML研發(fā)EUV光刻機(jī)。比如佳能研發(fā)NIL納米壓印,還有研發(fā)BLE電子束光刻機(jī)等等廠商,大家選擇另外的路。

而近日,有日本媒體更是表示,全球沒有一家國(guó)家,能夠獨(dú)立造出EUV光刻機(jī)出來,所以按照ASML的路,去研發(fā)EUV光刻機(jī),基本上不可能成功。

報(bào)道表示,ASML生產(chǎn)的EUV光刻機(jī),有超過10萬個(gè)以上的零件,這些零件中,85%是ASML從國(guó)外采購(gòu)的,只有15%是ASML自研的。

而這85%的零件,更是整合了全球的供應(yīng)鏈的技術(shù),這些供應(yīng)鏈分布于全球30多個(gè)國(guó)家。日媒表示,目前沒有一個(gè)國(guó)家,能夠掌握EUV光刻機(jī)的全套技術(shù),荷蘭不行,美國(guó)不行,日本也不行。

同時(shí)因?yàn)锳SML將這些頂尖的供應(yīng)鏈都拉到了自己的集團(tuán)中,大家利益共享,很難被打破,所以另外的企業(yè),去研發(fā)EUV光刻機(jī),基本上非常難。

當(dāng)然,日媒?jīng)]有點(diǎn)名中國(guó)行不行,但從它的字里行間透露出來的信息,那就是不行,他說是沒有一個(gè)國(guó)家可以獨(dú)立搞定。

那么日媒說的有沒有道理呢?當(dāng)然是有道理的,ASML目前確實(shí)是整合了全球最頂尖的技術(shù),比如光學(xué)領(lǐng)域的蔡司,就是天花板,被ASML綁到自己的戰(zhàn)車上了。

目前EUV光刻機(jī)中的物鏡系統(tǒng),甚至是浸潤(rùn)式光刻機(jī)中的物鏡系統(tǒng),全球都只有蔡司一家能夠生產(chǎn),尼康都要從蔡司那獲得技術(shù)授權(quán)和支持,才能生產(chǎn)浸潤(rùn)式光刻機(jī)出來。

類似于蔡司這樣的企業(yè),還有很多,可以說,其它國(guó)家和地區(qū),想要造出EUV光刻機(jī)出來,需要再造眾多類似于蔡司這樣的天花板型的頂級(jí)企業(yè),可以說是千難萬難。

理論上而言,確實(shí)沒有任何一家國(guó)家,能夠?qū)UV光刻機(jī)中的所有核心技術(shù),全部掌握,并且達(dá)到最頂尖的水平,最后再結(jié)合在一起,造出EUV光刻機(jī)出來。

不過,對(duì)于我們而言,就算它再難,也不得不迎難而上,因?yàn)槲覀儧]有選擇。當(dāng)然,還有另外的可能,那就是我們研發(fā)出另外的光刻機(jī)技術(shù),取代EUV光刻機(jī),比如NIL納米壓印、BEL電子束技術(shù)等,目前日本也在走這樣換道超車的路。


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